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CaF2晶体及加工技术研究

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随着深紫外准分子激光光刻技术的发展,所用CaF2光学晶体镜头材料的加工对传统的冷加工技术提出了挑战.本文结合CaF2晶体的基本性质,对其加工技术进行了极大的改进.通过控制合适的工艺参数,采用特殊的加工方法可以加工出高质量的caF2光学晶体.

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来源
《长春理工大学学报（自然科学版）》 |2007年第2期|97-99|共3页
作者
段安锋; 范翊; 刘景和; 沈永宏;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130031;

中国科学院研究生院,北京,100039;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130031;

长春理工大学,长春,130022;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130031;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类晶体生长理论;
关键词
CaF2晶体; 切割; 抛光; 晶体加工;

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