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干涉法在光栅波前检测中的应用研究

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摘要

主要针对凹面衍射光栅波前检测方法进行研究.实验光路的搭建基于泰曼干涉仪检测原理,针对凹面光栅检测进行相应的改进,成功获得凹面光栅零级和一级干涉条纹,从而证明了用干涉法检验凹面光栅衍射波前的可行性,为凹面光栅的加工质量检测提供了理论依据.

著录项

来源
《长春理工大学学报（自然科学版）》|2011年第2期|5-7|共3页
作者
吴迪; 齐向东; 车英; 郭林炀;
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作者单位

长春理工大学光电工程学院,长春130022;

长春理工大学光电工程学院,长春130022;

长春理工大学光电工程学院,长春130022;

长春理工大学光电工程学院,长春130022;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类全息法;
关键词
衍射光栅; 凹面光栅; 波前检测; 波前像差;
入库时间 2023-07-25 19:11:24

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