铟锡氧化物热等静压时分解氧对裂纹形成的作用

摘要

用化学共沉淀法制备的铟锡氧化物复合粉末经冷等静压成形后进行热等静压致密化所得靶村常常会产生裂纹。用电子探针分析了铟锡氧化物热等静压后裂纹外铟，锡和氧的成分分布。结果表明，裂纹处铟含量极低，锡含量极高，耐氧含理低于配比含量，这与Ｉｎ２Ｏ３和ＳｎＯ２在高温下不同的分解行为有关；