铝在硅中的固溶度

摘要

本工作通过对过去测定铝在硅中的固溶度的部分文章和数据较详细的分析,采用液相外延方法在温度区域700℃到1000℃之间,测得固溶度界于4×10^(18)～1.5×10^(19)atoms/cm^3,计算出相应的分凝系数,推得硅熔点1415℃的分凝系数为1.8×10^(-3),微分溶解热0.6eV。