应用激光闪光法测量薄膜材料的热扩散率

摘要

目的是将用于测量片状试样的热扩散率的激光闪光法推广至测量薄膜试样.应用15纳秒脉冲Nd:YAG激光及响应时间0.9微秒的(Hg,Cd)Te红外探测器等建立了闪光法热扩散率测量系统,并应用此系统对微米量级厚度的不锈钢薄膜进行了测量.同时针对将激光闪光法应用于薄膜时所出现的问题,如激光的有限脉冲时间及有限吸收厚度效应,测量系统的滞后效应,以及增强红外吸收及辐射用表面黑化膜的影响进行了分析并提出了解决方法.