半导体陶瓷粉末制备方法的比较研究

摘要

随着电子工业的高速发展,对半导体陶瓷材料性能的要求越来越高.制备工艺是决定其质量的关键技术之一.文章对半导体陶瓷粉末制备方法如机械粉碎法、喷雾热解法、沉淀法、溶胶 --凝胶法、水热合成法、水解法、气相化学反应法等进行了综合评述.比较和分析了各工艺方法的优缺点,并提出制备性能优异的陶瓷粉体的发展趋势.