多晶硅薄膜太阳电池效率影响因素的研究

摘要

研究了影响单晶硅衬底的多晶硅薄膜太阳电池转换效率的因素，得到该种电池的快速热化学汽相沉积（ＲＴＣＶＤ）的最佳条件．同时改进了制备薄膜太阳电池的若干工艺问题，得到了转换效率为１４．０８％的太阳电池，其填充因子为０．８０８．