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纳米测量方法及其研究进展综述

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综述了纳米测量方法,主要可归纳为光学和非光学两大类测量技术.通过对各种方法的测量原理、测量装置、测量准确度及其亟待解决问题的分析,阐明了纳米测量技术的发展现状、发展趋势,对纳米测量技术的发展具有一定的推动和指导作用.

著录项

来源
《宇航计测技术》 |2007年第6期|23-27|共5页
作者
裴雅鹏;
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作者单位

北京航天计量测试技术研究所,北京,100076;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类几何光学;
关键词
纳米技术; 测量; 激光干涉仪;

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