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Al-Ti/W-PtSi-Si系统电性能的研究

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cqvip:本文给出了Al-Ti/W-PtSi-Si、Al-Ti/W-Si等多层结构电学性能,特别是欧姆接触与抗电迁移性的研究结果.包括电子能谱分析,扫描电镜观测表面形貌,电迁移激活能的确定以及在场感应晶体管和集成电路中的应用效果等.还讨论了相关的作用机理.

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来源
《应用科学学报》 |1991年第1期|61-68|共8页
作者
李思渊; 张同军; 王晓岗; 贾笑天;
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