光谱连续的脉冲真空紫外(VUV)辐射源研究

摘要

报道了一种光谱连续的真空紫外辐射源的设计和特性研究。为提高其辐射强度，辐射设计在高气压、短脉冲状态工作。实验测得当充氢０．２￣０．９ＭＰａ、极距０．４￣０．８ｍｍ时，辐射源击穿电压为４￣１０ｋＶ，脉冲宽度１．２￣２．２×１０＾－７ｓ。与充氢压强、极间距有关。用Ｍｅｅｋ的击穿判据，理论计算了击穿电压，用放电通道膨胀理论，计算了放电脉冲宽度，发现两者都与实验基本相符。真空紫外辐射源的轴向光谱辐亮度。用