透明介质厚度的散斑法测量

摘要

首次提出了用激光散斑技术测量透明介质厚度的方法,导出了试件厚度与散斑位移量的关系,并做了比较实验。与一般的机械法测量相比,该方法具有灵敏度高、非接触测量等特点。