基于ZnO/SiC结构的Lamb波传感器研究

摘要

由于超声波传感器的工作需要极高的灵敏度和稳定度,其性能优化一直是研究的重点之一.本文采用传递矩阵法计算了基于ZnO/SiC结构的Lamb波传感器的各项性能,包括机电耦合系数,插入损耗,灵敏度以及较小的最小检测域.根据模拟结果,对Lamb波传感器的以上性能参数进行了优化,得到了优化工作条件.研究发现,Lamb波多模特性为这种传感器的性能优化提供了丰富的选择性,选择不同的模式,可以对各项性能参数进行不同目的的优化.研究结果对研制高性能的Lamb波超声传感器具有理论指导作用.