基于标量衍射理论的菲涅耳透镜衍射场研究

摘要

基于标量衍射理论,对菲涅耳透镜衍射场的光强分布规律进行了研究。提出了依据仿真结果对菲涅耳透镜的刻蚀深度进行实时检测的新方法。对该法的可行性进行了讨论。