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Er2O3薄膜的电学性质研究

             
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摘要

Er2O3是一种很有希望的高κ材料.在氧气氛下热蒸发金属铒源,制备了Er2O3的薄膜,随后在氧气氛下对它进行了退火.通过对其C-V及I-V特性的测试,认为该材料的电学特性优秀,应该进行进一步的研究.

著录项

  • 来源
    《江西科学 》 |2005年第5期|499-501510|共4页
  • 作者

    陈圣; 徐润; 朱燕艳; 方泽波; 薛菲; 樊永良; 蒋最敏;

  • 作者单位

    复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海,200433;

    复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海,200433;

    复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海,200433;

    复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海,200433;

    复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海,200433;

    复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海,200433;

    复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海,200433;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 电性质 ;
  • 关键词

    Er2O3; 高κ; C-V ; I-V ;

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