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移动式单探针诊断空心阴极等离子体的研究

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利用移动式单探针对不同电源偏压、不同气压以及不同位置的空心阴极等离子体进行了诊断,分析了电压和气压对空心阴极等离子体的影响,并对测量数据中表征等离子体空间电位Vsp的拐点不明显这一现象进行了解释.

著录项

来源
《江西科学》 |2007年第1期|21-23107|共4页
作者
龚玉武; 施芸城; 杨霞;
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作者单位

东华大学物理系,上海,200051;

东华大学物理系,上海,200051;

东华大学物理系,上海,200051;

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正文语种 chi
中图分类真空镀膜 ;
关键词
移动式单探针; 空心阴极 ; 等离子体 ; 诊断;

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