报道科技成果切莫变成'自嗨文'

摘要

研发人员介绍,这台22纳米分辨率光刻机在加工大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器等纳米功能器件上具有明显优势。但是,这台光刻机要想应用于芯片,还要攻克一系列技术难题,距离还相当遥远。