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李炳宗;
复旦大学电子工程系;
集成电路; 接触技术; 互连技术; 导电薄膜;
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机译:硅集成电路互连技术的几何线宽和热处理对化学镀铜金属化引起的应力状态的影响
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机译:集成电路互连技术
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