衍射光栅耦合红外光电探测器美国专利US6828642 （2004年12月7日授权）

摘要

本发明提供一种高性能衍射光栅耦合红外光电探测器．该光电探测器包括一个三维衍射光学共振腔，这个三维衍射光学共振腔是由一个能在某个红外波长范围内共振的衍射光栅构成的．通过在整个光电探测器上放置少量p／n结，由于结面积的减少，该光电探测器的热噪声可以得到降低．在保持信号响应的情况下，通过降低噪声，该光电探测器在给定工作温度下的灵敏度会得到提高。