Ⅱ类超晶格长波红外探测器研究进展

摘要

由于具有带隙可调、电子有效质量大、俄歇复合率低等特点,Ⅱ类超晶格在长波红外和甚长波红外探测方面具有独特优势.介绍了长波超晶格探测器制备方面的研究进展,包括能带结构设计、表面缺陷控制、周期结构控制和表面钝化.最后报道了320×256长波超晶格焦平面阵列及其测试性能.结果表明,在77 K工作温度下,该阵列的截止波长为9.6μm,平均峰值探测率D*为7×1010 cm·Hz1/2/W,噪声等效温差(Noise Equivalent Temperature Difference,NETD)为34 mK,响应非均匀性为7％.