衍射光学应用于红外成象仪（下）

摘要

3.3可调谐红外滤光片作为最后一个实例,为了说明近期技术在红外成象仪中的应用,介绍一个用LIGA技术实现的可调谐红外滤光片。LIGA取自德文缩写(Lithographie、Gal-vanoformung、Abformung),它表示应用X-射线石印术、镍电镀术和丙烯酸模塑法制备微电机系统(MIEMS)。