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光电器件薄膜附着力评价方法的研究进展

         

摘要

薄膜与衬底的结合性能一直备受关注.在各种情况下,薄膜的性能都依赖于其与衬底的附着力大小.为了提高附着强度,需要深刻理解附着力的机理和开发合适的附着力测试技术.从基准附着力、热力学附着能和实际附着力三个不同角度提供了附着力评价途径.作为广泛使用的附着力粘接测试技术,拉脱法和压带剥落法等方法在大量样品测试方面具有独特优势,可定性、半定量地评价薄膜附着性能.

著录项

  • 来源
    《红外》 |2011年第1期|10-15|共6页
  • 作者单位

    中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院研究生院,北京,100039;

    中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院研究生院,北京,100039;

    中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院研究生院,北京,100039;

    中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院研究生院,北京,100039;

    中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院研究生院,北京,100039;

    中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

    中国科学院研究生院,北京,100039;

    中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜物理学;
  • 关键词

    薄膜; 附着力; 粘接法; 光电器件; 测试技术;

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