轴跳动激光相干测量技术研究

摘要

转轴的圆跳动对机床的加工性能具有重要影响.为了满足实时在线的高精度测量需求,提出了一种新颖高效的轴跳动激光相干测量技术.该技术采用稳定可靠的基于塞曼效应的He-Ne激光器作为光源,具有灵敏度高、输出信噪比高、精度高、探测目标作用距离远等优点.另外,通过光纤传输,其测量灵活性和抗干扰性得到了进一步提高,可以满足实时在线的远距离测量需求.实验结果表明,该系统的测量不确定度小于0.1％.