一种提高系统分辨率、改善图像质量的技术——微扫描

摘要

分析了微扫描技术出现的时机及其重要性;介绍了微扫描的物理结构以及4种工作模式.最后,对微扫描的性能进行了分析,表明了它是一种提高系统空间分辨率、改善成像质量的有效途径.