云纹干涉法测试技术研究

摘要

在阐述云纹干涉法基本原理的基础上,分析了具体实现云纹法干涉过程中,因非严格对称入射而造成的不可避免的误差。首次推导出实现云纹干涉法零场时,两入射光束实际满足的一般条件:sinα+sinβ=2λf,理论推导中所用的条件:sinθ=λf只是一般条件的理想情况。最后对由此引入云纹干涉法的测量误差及其解决方法进行了分析讨论