实用型亚像元定位方法的研究

摘要

针对重复曝光离线对准系统 ,提出一种实用型亚像元定位方法———自适应加权拟合细分算法 （AWS） ,详细分析了算法的理论基础和基本原理 ,利用投影平均来提高信噪比 ,一维尺寸对比度滤波器单调分区 ,自动加权突出关键点 ,重建拟合曲线。仿真和硬件平台实验均表明 :该算法具有较高的重复定位精度和实时处理能力。