碱溶性光敏聚氨酯丙烯酸酯的合成及其在光致抗蚀剂中的应用

摘要

首先以异佛尔酮二异氰酸酯(IPDI)与2,2-二羟甲基丙酸(DMPA)反应得到聚氨酯预聚体(DMPA-PU),再分别用甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)、季戊四醇三丙烯酸酯(PETA)为封端剂,合成了2种碱溶性光敏聚氨酯丙烯酸酯(DMPA-H-PUA和DMPA-P-PUA).通过傅里叶红外光谱仪(FT-IR)、核磁共振氢谱(1H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)对产物进行了表征,以实时红外光谱测定了两种低聚物的双键转化率,然后通过热重分析仪(TGA)表征了固化膜的热性能,最后以场发射扫描电镜(SEM)表征了基于2种低聚物制备的光致抗蚀剂的分辨率.结果表明:在酸值相同的情况下,PETA封端的PUA分子量、黏度均高于HEMA封端的PUA;两种低聚物的双键转化率均达到90％以上;二者固化膜热稳定性均良好;以DMPA-H-PUA和DMPA-P-PUA为基体树脂的光致抗蚀剂的分辨率分别达到25μm和40μm.