一种新的微型表面微机械隧道式加速度计

摘要

作者已征税出一种新的微型表面微机械隧道式加速度计。加速度计的结构是在单晶硅片上产生出来的，由含有静电偏转电极的单个悬臂梁及其下面的隧道式顶部组成。在空气中，１００μｍ和２５０μｍ长的悬臂梁的噪声分辨率在５００Ｈｚ条件下分别为８．３×１０＾－４ｇ／Ｈｚ＾１／２和８．５×１０＾－５ｇ／Ｈｚ＾１／２。该器件使用一种低噪声自动伺服控制电路，以力再平衡伺服状态工作，所提供的动态量程为１０＾４ｇ。这种新的加速