高精表面测试仪研究

摘要

随着磁盘工业的技术进步,硬盘记录向高密度化发展。其记录性能越来越受到盘面粗糙度、平整度等机械性能的影响。因此,磁盘表面测试技术显得特别重要。本文采用PZT调制光外差干涉技术,设计并实现一种非接触测试系统。大量测试分析表明,本文给出的系统可实现磁盘表面粗糙度的精确测量。