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用光散射法测量表面粗糙度

         

摘要

本文介绍了用光散射特性测量被加工表面粗糙度的原理和方法。与触针法和其他光学方法比较,光散射法测量表面粗糙度具有许多优点。它在自动测试,生产控制和在线测量方面得到应用

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