Novel One-component Positive-tone Chemically Amplified I-Line Molecular Glass Photoresist Based on Tannic Acid

著录项

• 来源
  《高等学校化学研究：英文版》|2015年第4期|585-589|共5页
• 作者

  WEI Qi WANG Liyuan;

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• 作者单位

  Beijing Key Laboratory of Energy Conversion and Storage Materials, College of Chemistry, Beijing Normal University, Beijing 100875, P. R. China;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光刻、掩膜;
• 关键词

  光致抗蚀剂; 化学改性; 单宁酸; 玻璃; 分子; 组成部分; 放大; 小说;

• 入库时间 2024-01-21 11:50:57