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镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应

         

摘要

对镀制强激光薄膜的光学元件在外界环境中时,表面面形发生的变化进行了研究.理论分析了表面面形的变化机制,明确水致应力具有物理和化学两种形成机制,是改变镀膜元件面形的主要因素;实验研究了镀制激光高反膜的K9材料元件存放过程中面形变化趋势,发现这种趋势变化具有时间效应和湿度效应.

著录项

  • 来源
    《强激光与粒子束》 |2009年第6期|851-854|共4页
  • 作者单位

    中国科学院,上海光学精密机械研究所,高功率激光物理联合实验室,上海,201800;

    中国科学院,上海光学精密机械研究所,高功率激光物理联合实验室,上海,201800;

    中国科学院,上海光学精密机械研究所,高功率激光物理联合实验室,上海,201800;

    中国科学院,上海光学精密机械研究所,高功率激光物理联合实验室,上海,201800;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜物理学;
  • 关键词

    薄膜; 水致应力; 面形; 时间效应; 湿度效应;

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