微喷测量中真空度对Ф2mm压电石英传感器的影响初探

摘要

针对Ф2mm压电石英传感器有效测试面积小、信号弱、易受干扰的特点，对不同真空度、不同飞片速度下的空气冲击波压力进行计算分析，得出在20Pa以下的真空度中进行微喷测量时，残存空气对Ф2mm压电石英传感器的影响可以忽略；利用此条件下的实验数据，估算了影响Ф2mm压电石英传感器真空度的上限值。