关于半导体器件中PN结的染色

摘要

在结型半导体器件中，PN结的质量对器件特性影响很大。结深是检测PN结的重要参数之一。使用滚槽法，并用化学染色液显示PN结位置，是一种简单方便的方法。不同的染色液显现PN结形貌受到PN结固有性质、染色溶液的成分、染色时间等的影响。综合来看，铬酸染色液在实际中的应用效果较好。