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赵月华;
河北省水利水电第二勘探设计研究院;
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机译:磁控反应离子刻蚀Gaas和aIGaas在CH4 / H2 / ar等离子体中的应用
机译:磁控控制方法,磁控寿命判定方法,微波发生装置,磁控寿命判定装置,处理装置,计算机程序以及存储介质
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