基于液晶弹性体驱动MEMS开关的有限元分析

摘要

介绍了基于光致形变液晶弹性体二维自由梁模型在不同条件下的弯曲程度。根据其有限元分析，计算模型在不同光照强度、不同L/h值、及均匀光照和局部光照下的变形量。设计了基于光致形变液晶高弹体的引信MEMS开关，并在二维自由梁模型仿真的基础上对MEMS开关做相关有限元分析。