阳极氧化法制备透明氧化铝薄膜的研究

摘要

以铝箔为阳极,石墨为阴极,草酸为电解液,采用二次阳极氧化法制备透明氧化铝薄膜.采用金相显微镜观察一次阳极氧化和二次阳极氧化后氧化铝薄膜的表面形貌,并用X射线衍射仪对氧化铝薄膜结构进行表征.结果表明,二次阳极氧化工艺对氧化铝薄膜的质量有重要的影响.采用退火-除油-浸蚀-电化学抛光-一次阳极氧化-二次阳极氧化工艺,并严格控制工艺参数,可以制备结构良好的透明氧化铝薄膜,且氧化铝薄膜是非晶态结构.