XRD在薄膜结构分析中常见问题的研究

摘要

研究了X射线衍射(XRD)在薄膜结构分析中常见问题的解决方法,提出了取向生长薄膜的面内晶胞参数的测试及计算方法。实验表明,X射线束的扫描方向对反映的晶体结构信息产生影响。理论推导表明,在计算中选择合适强度和合适峰位的衍射峰,才能得到准确的晶胞参数。