刚性模具微纳米热压印技术研究

摘要

介绍了刚性模具微纳米热压印技术及研究现状,采用了自主研制的微纳米压印样机与飞秒激光刻蚀的SiO2模板在PMMA表面压印出微透镜阵列,并分析了压印过程中对微透镜阵列表面形貌影响的各种因数,提出了解决方法。