电子铝箔晶粒法向EBSD样品制备及分析方法

摘要

本文介绍了一种电子铝箔法向EBSD分析方法,将待制样品用环氧树脂进行镶嵌固化,经过机械抛光、振动抛光和电解抛光,并用丙酮除去镶嵌树脂,然后对样品的有效解析度、晶界特性、立方织构等进行表征分析。结果表明,通过此方法可以获得清晰的EBSD菊池花样,铝箔样品的衍射花样有效解析度为95%,小角度晶界超过95%,立方织构度超过99%,满足高压光箔要求。