制备太阳能级多晶硅的工艺研究进展

摘要

太阳能级多晶硅的制备工艺分为物理法和化学法两大类.物理法包括造渣提纯硅法、利用热交换定向凝固提纯、利用电磁感应等离子技术提纯、CP法等,其中CP法生产的太阳能级多品硅的纯度接近于化学法.但要生产纯度大于6N的多晶硅,仍需要采用化学法.目前常用的化学法有三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法、四氯化硅氢还原法等.三氯氧硅氢还原法又称改良西门子法,是化学法制备太阳能级多晶硅的主流工艺,不足之处是耗能大、污染严重、运行成本较高.