氯化还原法制备高纯砷的工艺研究

摘要

高纯砷是制备砷化镓、砷铝化镓、砷化铟等半导体材料的重要原料,其最常见的制备方法是氯化还原法.本文主要从改进工艺设备和优化参数设计的方面来研究如何提高高纯砷的产量和质量.结果表明,改进后真空升华、氯化和脱氯、精馏、氢化还原装置具有明显的效果.