XPS检验微量物证应用初探

摘要

X射线光电子能谱（X-ray Phtoelectronic Spectrum，XPS）技术是近几年发展起来的在材料物理、化学等领域有重要应用价值的测试手段，主要用于固体样品表面的组成、化学状态分析，能进行定性、半定量及价态分析。广泛应用于聚合物、无机化合物、有机化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料的研究，以及腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包覆、氧化等过程的研究。对测试材料的检测深度为几个纳米（nm），或者说，测试样品只有几个纳米厚度即可达到测试要求，并且测试的精度非常高。