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Yunog.T; 晨亮;
不详;
中性束; 蚀刻器; NBA; 串联型; 低损伤; 集成电路;
机译:基于部分蚀刻光栅辅助耦合器的偏振分束器和旋转器
机译:使用中性束蚀刻技术通过低损伤工艺提高硅微机械谐振器的机械品质因数
机译:EAST中性束注入器大面积射频等离子体源的研制及初步成果
机译:使用中性束辅助原子层蚀刻技术对32nm以下的金属栅/高k LSTP CMOSFET进行新颖的无损伤高k去除
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:使用部分蚀刻的亚波长光栅耦合器的超紧凑高效硅基偏振分束器-转子
机译:低压/大电流中性束注入器离子束源的研制
机译:由离子束辅助蚀刻定义的高性能InGaasp / Inp埋入式异质结构激光器和阵列
机译:使用中性束轻松控制中性束方向并提高蚀刻率的半导体器件蚀刻装置
机译:基于负离子的中性原子注入器束,其中包括适合产生负离子束的离子源,加速器和中和器,适用于产生中性原子束C的离子源,加速器和中和器功率约为5 MW。
机译:使用中性束蚀刻装置的蚀刻方法
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