激光多普勒振动计

摘要

1.前言现在,振动测量采用加速度传感器的接触方式已为众所周知。而另一方面,在电子设备、汽车、半导体生产装置及精密机床等领域,被测对象多为小型、轻量,并且以旋转体居多,对非接触方式振动传感器的需求正在不断增加。