用激光扫描的共焦检测法测量亚微米尺寸

摘要

一、前言随着精密加工技术的进步,现在已能制造出1μm以下的亚微米级微型模板,这就需要在生产现场实时测量模板的尺寸。当被测模板是由反射率不同的几种材料构成时,大多采用检测反射率引起的反射光强度变化的方法。