河北工业大学 材料科学与工程学院,天津 300130;
河北省功能材料重点实验室,天津 300130;
中芯北方集成电路制造(北京)有限公司,北京 100176;
河北工业大学 材料科学与工程学院,天津 300130;
河北省功能材料重点实验室,天津 300130;
天津市材料层状复合与界面控制技术重点实验室,天津 300130;
河北工业大学 材料科学与工程学院,天津 300130;
河北省功能材料重点实验室,天津 300130;
天津市材料层状复合与界面控制技术重点实验室,天津 300130;
河北工业大学 材料科学与工程学院,天津 300130;