石英谐振子加工技术

摘要

固体波动陀螺是一种基于科里奥利效应的新型陀螺,具有环境适应性强、可靠性高、长寿命、高精度等优点。石英谐振子作为其核心部件,其性能的好坏直接关系到固体波动陀螺的性能,因此对石英谐振子进行特殊的加工手段是提高固体波动陀螺性能的关键。石英谐振子影响陀螺精度的主要技术指标有两项分别为频率裂解值及品质因数,针对上述两项指标本文从石英谐振子超精密加工、石英谐振子调平、谐振子表面金属化镀膜三个技术方面对石英谐振子的加工进行论述。