真空密封中O型圈和燕尾槽的使用研究

摘要

为了研究真空腔体环境中O型圈和燕尾槽结构的密封性能和密封作用面位置,首先介绍了O型圈在腔体密封中的广泛使用的现状,以及在MOCVD设备中的使用,接着介绍O型圈密封机理和失效准则,最后使用SolidWorks商用软件对其进行建模分析.文章最后验证O型圈和燕尾槽结构的密封作用面位置能够起到良好密封作用,并且密封作用面为法兰上下面,为加工密封法兰提供指导.