直线电机原理及其在精密工作台中的应用

摘要

激光划切机能在高速加工情况下切割LED晶圆获得干净的断裂面,形成窄而深的激光划切槽,要达到这样的工艺效果就要求激光划切工作平台同时具有较高的响应速度、准确的定位精度以及重复精度。首先对直线电机的原理进行研究,根据其外形特点不同进行分类,通过对比为精密工作台系统选择合适的直线电机类型,建立动力学数学模型,研究直线电机在精密工作台系统的应用。