为保持领先地位KLA—Tencor检测设备增加die—to—database新功能

摘要

cqvip:据EETimes网站报道，为保持领先地位，KLA．Tencor日前为其先进的掩模板检测系统增加了“芯片到数据库（die—to-database）”的功能。将此项功能添加到TeraScan系列掩模板检测设备上。其中，TeraScanHR是KLA—Tencor最先进的设备，能够应用于45nm量产及32nm研发中。